產(chǎn)品展示
首頁 >>> 產(chǎn)品展示 >>> 愛德華 >>> 真空泵 >>> iH600 iH1000英國愛德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修
產(chǎn)品名稱: 英國愛德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修
產(chǎn)品時間: 2019-03-25
產(chǎn)品型號: iH600 iH1000
產(chǎn)品特點: Edwards iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級主泵，使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨設計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和*封閉的水冷卻電機。英國愛德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修
英國愛德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修 的詳細介紹
英國愛德華EDWARDS晶圓半導體iH600干式真空泵維修
概述
Edwards 高級半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。英國愛德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應用
- 負載鎖
- 輸送
- 計量
- 平版印刷
- PVD 制程
- PVD 預清潔
- RTA
- 剝離/灰化
- 刻蝕
- 植入源
- HDP CVD
- RTP
- SACVD
- MCVD
- PECVD
- LPCVD
- ALD
功能和優(yōu)勢
- 優(yōu)化了設施消耗。
- 無需預防性維護。
- 懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
- 在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。
- 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
- 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
- 整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。英國愛德華晶圓半導體iH600干式真空泵維修
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 峰值速度 | 600 m3h-1 |
| 353 cfm | |
| 10000 l min-1 | |
| 極限真空 | 7 x 10-4 mbar |
| 5.3 x 10-4 Torr | |
| 0.07 Pa | |
| 典型軸封氮流量 | 4 slm |
| 進氣口連接 | ISO100 |
| 出口連接 | NW40 |
| 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 重量 | 415 kg |
| 極限功率輸入 | 3.4 kW |
| 電機額定功率 | 6.1 kW |
| 油容量 | 1.43 l |
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。
蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江英國愛德華晶圓半導體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修
常州揚州泰州南通南京啟東海門如皋海門英國愛德華晶圓半導體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修
海安如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州英國愛德華晶圓半導體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修
臺州衢州紹興金華寧波余姚福州廈門泉州英國愛德華晶圓半導體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修
深圳廣州珠海廣州惠州通州桂林南寧南昌英國愛德華晶圓半導體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修
贛州武漢成都重慶荊州太原蘭州烏魯木齊英國愛德華晶圓半導體干泵iH1000、iH600干式真空泵維修
相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品分類
相關(guān)文章
聯(lián)系我們
昆山熙日機械設備有限公司
電話：86-0512-36687634
傳真：86-0512-36687634
地址：江蘇省昆山市陸家鎮(zhèn)友誼路290號
郵編：215000
昆山熙日機械設備有限公司版權(quán)所有© 2018
